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플라즈마 기술학술대회 [The 8th ICMAP & The 9th ISFM] 의 플라즈마 강습회 행사 안내

관리자 │ 2021-01-04

HIT

372

학회 회원 및 단체회원 관계자 제위.


안녕하세요? 한국반도체디스플레이기술학회 입니다.
학술활동 및 산학연 협력 활성화의 많은 참여와 활동에 감사드립니다.

다름이 아니라,  한국진공학회 주관으로, The 8th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology(The 8th ICMAP) & The 9th International Symposium on Functional Materials(The 9th ISFM) 2021 1 17~20일에 온라인 컨퍼런스로 개최되어(오프라인 컨퍼런스는 소규모의 인원에 한하여 경기도 화성시 롤링힐스에서 진행될 예정입니다.) 이를 안내드립니다.

하단 안내 및 공식 홈페이지(www.icmap2020.org)를 참조하시고, 관심 있는 분들의 많은 신청 부탁드립니다.

감사합니다.  문의처는  아래 기관의 담당자에게 연락주시기를 바랍니다.

이메일)office@icmap2020.org   전화) 042-472-7460


한국반도체디스플레이기술학회 사무국 올림.


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The 8th ICMAP & The 9th ISFM

2021 1 17- 20 온라인 컨퍼런스

 

안녕하십니까,

 

한국진공학회 주관으로, The 8th International Conference on Microelectronics and Plasma Technology(The 8th ICMAP) & The 9th International Symposium on Functional Materials(The 9th ISFM) 다가오는 2021 1 17~20일에 온라인 컨퍼런스로 개최됩니다. (오프라인 컨퍼런스는 소규모의 인원에 한하여 경기도 화성시 롤링힐스에서 진행될 예정입니다.)

 

The 8th ICMAP & The 9th ISFM 에는 저명한 5명의 기조강연과  45명의 초청연사 강연을 포함한 구두세션, 포스터 세션이 진행될 예정이며,

『스페셜 세션』 『튜토리얼 세션』 아래와 같이 마련하고 있으니 많은 관심과 참여 부탁 드립니다!

 

스페셜 세션

-일시: 2021 1 19() / 13:00-18:00

연구소

KFE (윤정식 박사)

데이터기반의 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발

KRISS (이효창 박사)

플라즈마 정밀 측정 기술 TTTM Solution

학교

전북대학교 (임연호 교수)

Toward Predictable 3D Topography Simulation of the Emerging Plasma Processes

산업체

삼성전자 (양원석 박사)

공정별 Wafer Edge Risk, 그리고 -- 발전 방향 제언

TEL (박영우 CTO)

Plasma Enhanced Technologies for the Future Generations

원익 IPS (신형주 상무)

Challenges and Opportunities for Plasma Deposition Equipments Technology

 

튜토리얼 세션 (한국어 세션)

 

튜토리얼 세션 1 : 시뮬레이션 

-일시: 2021 1 17() / 14:00-17:00

발표제목

발표연사

진공 환경의 이해와 ICP Dry Etcher 해석

주정훈 교수 (군산대학교)

플라즈마 시뮬레이션의 기본원리 FEM 이용한 적용, 확장 가능성

최희환 교수 (한국항공대학교)

반도체 공정용 플라즈마 장비의 시뮬레이션 방법과 앞으로의 방향

김호준 교수 (가천대학교)

 

튜토리얼 세션 2 : 진단

-일시: 2021 1 18() / 09:00-11:00

발표제목

발표연사

플라즈마 광진단 기계학습에 의한 광학신호 분석

채희엽 교수 (성균관대학교)

플라즈마 전기적 진단법

이효창 박사 (KRISS)

 

튜토리얼 세션 3 : 분석

-일시: 2021 1 18() / 14:00-17:00

발표제목

발표연사

XPS

전철호 박사 (KBSI)

SIMS

홍태은 박사 (KBSI)

TEM/SEM

장재혁 박사 (KBSI)

XRD

김희진 박사 (KBSI)

 

튜토리얼 세션 4 : Atomic Layer Deposition (ALD)

-일시: 2021 1 20() / 09:00-12:00

발표제목

발표연사

ALD Fundamentals

이한보람 교수 (인천대학교)

ALD 소재 부품 장비

이원준 교수 (세종대학교)

ALD Applications

전형탁 교수 (한양대학교)

 

튜토리얼 세션 5 : Atomic Layer Etching (ALE)

-일시: 2021 1 20() / 14:00-17:00

발표제목

발표연사

Plasma Etch Fundamentals

김경남 교수 (대전대학교)

Anisotropic ALE

염근영 교수 (성균관대학교)

Isotropic ALE

채희엽 교수 (성균관대학교)

 

Tutorial Sessions (영어 세션)

- 행사기간동안 온라인 컨퍼런스 페이지에서 언제든지 시청 가능합니다.

 

● Tutorial Session 1 : Bio Science Medicine

발표제목

발표연사

Plasma Biology

Prof. David Graves (Univ. of California, USA)

Influence of Cold Atmospheric Pressure Plasma on Wound Healing

Dr. Kai Masur (INP, Germany)

Nonthermal Biocompatible Plasma (NBP) Sources and Their RONS Characteristics for Plasma Biosciences

Prof. Eun Ha Choi (Kwangwoon Univ., Korea)

 

● Tutorial Session 2 : Introduction to Plasma Process for Semiconductor Fabrication

발표제목

발표연사

Introduction to Plasma Process for Semiconductor Fabrication

Prof. ShinJae You (Chungnam Natl Univ., Korea)

 

학회 등록

2021 1 10()까지 할인된 가격으로 등록하실 있으니, 할인 혜택을 놓치지 마세요!

-등록 안내 페이지: http://www.icmap2020.org/registration.php

 

외에 자세한 사항은 학회 공식 홈페이지(www.icmap2020.org) 통해 확인하실 있습니다.

 

새해 많이 받으시고, 학술대회에서 만나 뵙길 바랍니다.

감사합니다.

 

The 8th ICMAP & The 9th ISFM Secretariat

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Tel. +82-42-472-7460 / Fax. +82-42-472-7459 /

E-mail. office@icmap2020.org / Web. http://www.icmap2020.org/






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