프로그램안내

산·학·연 협력활동 프로그램안내

2021년 반도체디스플레이 심포지움(SSD 2021) 프로그램
 
 1) 일시 및 장소: 2021년 10월 28일(목)/COEX E6호(서울 삼성동)
 2) 주관: 한국반도체디스플레이기술학회(반도체디스플레이협의체), (조직위원장: 염근영 교수(성균관대))
 3) 진행방식: 온오프라인
 4) 프로그램 주제: 나노미터급 반도체를 위한 반도체 장비 및 부품 기술 혁신

        
프로그램                                                                        -사회: 심태헌 교수(한양대)
일정 주제 연사 비고
09:00-09:50 등록 및 네트워킹 -
09:50~09:55 개회사 조직위원장
09:55-10:00 인사말 학회장
10:00-10:30 Logic 제조공정 소개 김봉석 산학협력교수(한양대) (전)삼성전자 로직담당 상무
세션 (Ⅰ : 공정진단) - 좌장: 이효창 박사(표준연)
10:30-11:00 플라즈마 장비 지능화 기술동향 윤정식 단장
(KFE)
11:00-11:30 플라즈마 밀도 실시간 측정기술 이효창 박사
(표준연)
11:30~12:00 PI-APC기술 기반의 지능형장비 개발 전략 김곤호 교수
(서울대)
12:00~13:20 점심 식사(80분)
세션 ( Ⅱ : 반도체장비, 부품) - 좌장: 김태성 교수(성균관대)
13:20~13:50 Co-optimized deposition and
etch solutions for vertically
integrated memories
Dr. Thorsten Lill
(Lam Research)
온라인
13:50~14:20 PEALD의 최근 기술동향 천승주 박사
(ASM)
14:20~14:50 C&C 최근 기술동향 김태성 교수
(성균관대)
14:50~15:20 미세공정을 위한 열처리 장비와
증착장비의 방향성 소개
지상현 상무
(AP시스템)
15:20~15:40 Coffee Break (20분)
세션 ( Ⅲ : EUV 장비 및 부품기술) - 좌장: 이진균 교수(인하대)
15:40~16:10 EUV 노광장비 이명규 이사
(ASML)
16:10~16:40 EUV 광원기술 김정형 박사
(표준연)
16:40~17:10 EUV 소재부품장비 기술동향 이진균 교수
(인하대)
17:10~17:30 마무리 조직위원장

* 참고: 상기 프로그램은 다소 변경될 수 있습니다. 이 점 양해를 바랍니다.