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산·학·연 협력활동 인사말

제4회 반도체·디스플레이 공정진단 제어기술 교류회에 초대합니다.

반도체·디스플레이 분야 기술인 여러분, 무더운 여름 안녕하신지요? 코로나19가 다시 기승을 부리고 있어,
몸도 마음도 많이 힘드실 시기 입니다. 건강 조심하시고 무난하게 여름을 나시기를 바랍니다.

한국반도체디스플레이(반디)기술학회 산하 공정진단·장비제어기술 연구회에서 주최하는 교류회 소식을
알려 드립니다.   작년에는 코로나19 발생으로 기회를 갖지 못하였으나  여러분의 응원에  힘을 얻어, 올
2021년 8월 26일(목)에 교류회를 갖고자 합니다. 아쉽지만 올해에도 대면 모임은 힘들어서, 모든 강연은
비대면으로 진행될 예정입니다. 비대면의 단점을 나름 보완해서 운영하고자 하오니  많은 참여를  부탁
드립니다.

저희 교류회는 ‘공정 진단 기술이 뭐꼬?’라는 화두로 기술을 정의하고, 반디 제조 분야의 공정진단 기술의 발전을 위한 생태계 조성을 위해 나름대로
역할을 하고자 노력해 왔습니다. 십년 논의후에 조금씩 발전해서 ‘공정진단 기술은 공정과 장비를 제어하는 기술로서 구현된다’는 취지로서, 교류회의
명칭도 ‘공정진단제어기술 교류회’가 되었습니다. 본 교류회를 통해서 공정 수율을 높일 수 있는 장비의 운전 제어기술로서, ‘센서/장비-가상계측-
장비운전제어’ cascade control 구조가 효과적인 공정-제어 플랫폼 개념을 소개한 바 있습니다. 이를 풀어보면 센서/장비에서 생산되는 데이터는
공정을 예측하는데 사용될 수 있도록 개발되어야 하며, 장비 및 공정 제어 리시피를 개발하기 위해서는 장비데이터가 공정에 미치는 영향에 따른
공정 예측값으로 판단기준이 마련될 수 있고, 센서와 장비 구동의 시간은 제어 알고리즘의 동작시간 내에서 이뤄지는 체계구축이 가능하게 되었습
니다.이와 관련해서 학계의 기초 연구, 산학 연구 및 국책연구소 연구가 활성화 되고 있고, 특히 작년 2020년에는 국가과학기술연구회에서 지원하는
‘반도체 플라즈마 공정장비 지능화 기술 개발 및 실증’의 주제로 5개 국책연구소와 8개 대학이 ‘Plasma E.I. 융합연구단'을 구성해서 6년간의 공정
진단 데이터 및 소프트웨어 요소기술을 개발하고 있습니다. 내년부터는 연구단의 성과가 센서, 장비 및 소자 제조사 여러분에게도 전달될 것으로
기대합니다.

2021년에는 공정진단제어기술이 한걸음 더 나가기 위한 방안을 모색하는 해가 되기를 기대하면서 다음 주제에 집중하고자 합니다. 공정진단제어
기술을 어떻게 융합시킬 것인가? 즉 ‘공정진단 제어의 소프트웨어기술을 그것을 담을 주체인 하드웨어에서 어떻게 기술적으로 담을 것인가? 이렇게
결합된 소프트웨어+하드웨어기술을 소자 공정에서는 어떻게 활용할 것인가?’에 대한 담론을 이어가고자 합니다. 따라서 2021 교류회에서는 소자
제조사와 장비사 및 센서와 알고리즘 개발과 이를 정책적으로 바라보는 시선들을 종합하고자 하였습니다. 여러분의 적극적인 참여와 제안을 요청
드리고, 기술적인 교류도 활발히 하여 기술 협력이 원활히 이뤄지기를 희망합니다.

반도체·디스플레이(반디) 강국을 이끌어 가고 계신 기술자 여러분, 결코 우호적이지 않은 주변 상황입니다. 저희 교류회는 헌신적으로 기술적인
난제를 풀어가는 여러분을 항상 응원하고 있습니다.

반도체디스플레이 공정진단제어 기술연구회

회장  김  곤  호