학술대회 프로그램 안내

학술대회 학술대회 프로그램 안내

2020년 온라인 추계학술대회- PROGRAM(10월 16일(금))

시간 온라인(참가자)/명지대학교(용인) 창조예술관 5층 2535호(강연자용)
08:00~ 등록 및 환담
09:00~09:20 개회사(홍상진 조직위원장(명지대))
인사말(학회장 및 명지대 유병진 총장)
- Plenary Session 1(좌장:전형탁 교수(한양대))
09:20~09:50 Plenary (1): 김형준 단장(차세대지능형반도체):
차세대 지능형 반도체를 위한 제조 기술 혁신
09:50~10:20 Plenary (2): 윤정식 센터장(국가핵융합연구소):
플라즈마 공정장비 지능화 연구단(Data-Driven Plasma
Equipment Intelligence Research Platform) 소개
10:20~10:30 Coffee Break
10:30~11:00 Plenary (3): 김동순 반도체 PD(한국산업기술평가관리원):
반도체 기술 동향 및 종합반도체 강국을 위한 반도체 R&D 로드맵
11:00~11:30 Plenary (4): 백군기 용인시장(용인시):용인시 반도체 산업육성전략
11:30~12:00 Plenary (5): 안진호 교수(한양대):
EUV 노광기술과 우리의 산업 생태계
12:00~13:30 점심(발표논문 질의시간(1))
- Session 1
소자: 윤태식 교수
(명지대)
(장소: 창조예술관
5층 2535호)
Session 2
소재: 이정환 교수
(인하대)
(장소: 5공학관
1층 5120호)
Session 3
부품: 유신재 교수
(충남대)
(장소: 5공학관
1층 5125호)
Session 4
장비: 김기현 교수
(한국산업기술대)
(장소: 5공학관
2층 5243호)
13:30~14:00 Invited(1):
이민현 전문연구원
(삼성전자종합기술원):
Fabricarion and
applicarions of 2D
materials
Invited(1):
변영훈 연구소장
(메카로)
원자층 증착(ALD) 전구체
개발의 중요성과 그 역할
Invited(1):
서상훈 부사장
(윈텔):
극저압 헬리콘
플라즈마소스 개발 및
반도체 공정으로의 적용
Invited(1):
최지훈 대표
(아큐레이저):
광에너지 기반 차세대
반도체 및 디스플레이 소자
접합 기술
14:00~14:30 Invited(2):
백승재 교수
(한경대):
상변화 메모리 셀의 결정상
분포에 대한 고찰과 컴팩트
모델링
Invited(2):
임영진 팀장
(후성):
3D NAND 제작을 위한
HSN 연구 개발
Invited(2):
허 민 책임연구원
(한국기계연구원):
반도체 오염물질 제거-
세정을 위한 Foreline
플라즈마 기술
Invited(2):
지상현 이사
(AP시스템):
미세 선폭 공정에 대한
열처리 장비 및 공정
14:30~15:00 Invited(3):
김수현 교수
(영남대):
Atomic layer deposition
of metal and metal
Alloy/compound
thin films for advanced
Cu metallization and
beyond Cu metallization
Invited(3):
이상익 전무이사
(디엔에프):
반도체용 전구체의
화학적인 설계 방식
Invited(3):
한윤석 이사
(MKS Korea):
HARC 공정에 요구되는 RF
기술 소개
Invited(3):
이덕영 이사
(고영테크놀러지):
기계학습기반
SMT제조공정의 진단 및
최적화 솔루션
15:00~15:20 휴식시간
15:20~15:50 Invited(4):
김상범 교수
(서울대):
비휘발성 메모리에
기반한 뉴모로픽
컴퓨팅
Invited(4):
이성훈 전문연구원
(삼성전자 종합기술원):
Beyond Ir comlexes
구두발표(1):이용일
박사과정
(명지대):
웨이퍼형 온도
모니터링 시스템에
적용 가능한 열 유속 계산방법
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구두발표(2):성인호 박사과정
(충남대):
Invited(4):
이동근 부사장
(이솔):
간섭 EUV 광을 이용한
EUV Mask 생산 설비
15:50~16:20 Invited(5):
정연주 박사
(KIST):
Neutral Networks
with Memristor
Crossbar Network
Invited(5):
이진균 교수
(인하대):
불소화학 기반 유기
단분자 극자외선
레지스트 개발
이온 에너지/선속
전산모사와 연동된
비침투식 센서 개발
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구두발표(3):
한종구 석사과정
(전북대):
위치별 라디칼 밀도
측정을 위한 UV 흡수
분광 시스템 개발
Invited(5):
손희수 사무관
(특허청):
반도체 증착장비 관련
특허통계 동향 및 분석
- Plenary Session Ⅱ(좌장:장영철 교수(한기대))
16:30~17:00 Plenary (6): 전배근 팀장(반도체산업협회):
반도체 소재/부품/장비 인력양성
17:00~17:10 폐회 및 안내
17:10~19:00 이사회(학회 임원진 및 관계자)
(장소:5층 2535호)

* 상기 프로그램은 사정에 따라 다소 변경될 수 있습니다.
* Session 3.구두발표자(1,2,3)은 Invited 강연과 동일하게 진행함.