* 최우수 논문상 (2편)

1. 웨이퍼형 온도 모니터링 시스템에 적용 가능한 열 유속 계산방법
 - 이용일 (명지대학교)

2. 이온 에너지/선속 전산모사와 연동된 비침투식 센서 개발
 - 성인호 (충남대학교)

* 우수 논문상 (10편)
1. Investigation of micro-particle deposition on the glass substrate for verifying AOI performance
 - 김은미 (성균관대학교)
2. 스마트폰 곡면유리 성형을 위한 가압시스템 연구
 -  장채은 (한국산업기술대학교)
3. CFD를 이용한 플라즈마 식각 장비용 샤워헤드의 형상에 따른 기류 분포 해석
 -  장경민 (한국기술교육대학교)
4. ALD로 증착한 (ZrO2)1-x(Ga2O3)x 박막의 후속 열처리에 따른 전기적 특성 변화 연구
 - 계정섭(연세대학교)
5. Nb2O5 / Hf0.5Zr02.5O 이중층을 적용한 강유전체 커패시터의 전기적 특성
 - 이요섭 (한국산업기술대학교)
6. 세라믹 기판 소재에 따른 정전척 표면의 온도 분포 해석
 - 임동혁 (명지대학교)
7. 플렉서블 전자장치를 위한 플렉서블 및 리지드 성분의 혼합물을 기반으로 한 폴리이미드  박막
 - 정지원 (인하대학교)
8. Bias 펄스 플라즈마를 통한 etch profile 향상에 관한 연구
 - 홍종우 (성균관대학교)
9. 딥러닝을 통한 식각 깊이 가상 계측 모델링
 - 최정은 (명지대학교)
10. 위치별 라디칼 밀도 측정을 위한 UV 흡수 분광 시스템 개발
 - 한종구 (전북대학교)     

-----------------------------------------------------------------------------------------------------------------------------

우수논문에 수상된 분들께 상장과 부상을 송부할 예정이오니, 참조해 주시기 바랍니다. 감사합니다.

궁금한 점 있으시면 학회로 연락주시면 감사하겠습니다.