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 제2회 플라즈마 기술 교류회 일시: 2019년 04월 19일 (금), 12:30 ~ 18:00 장소: 한양대학교 백남학술관 강당 주최: (사)한국정보디스플레이학회, 플라즈마/장비 연구회 [모시는 글] 안녕하십니까? 한국정보디스플레이 플라즈마/장비연구회 회장을 맡고 있는 충남대학교 물리학과 유신재 교수입니다. 추운 겨울이 지나고 꽃피는 봄이 왔습니다. 하지만 연일 계속되는 미세먼지로 자연의 아름다움을 만끽하기에는 어려움이 있는 것 같습니다. 이런 계절에는 실외에서 자연을 즐기는 것보다 실내에서 그간 인류가 발견한 자연의 아름다움을 공부하고 즐기는 것이 좋을 듯합니다. 저희 플라즈마/장비 연구회에서는 이러한 취지를 살리어 “플라즈마 공정 기초의 이해”라는 제목으로 제 2회 플라즈마 기술 교류회”를 준비하게 되었습니다. 이번 기술 교류회는 반도체 공정에 사용되는 진공의 원리, 플라즈마원의 원리와 장단점, 플라즈마 공정의 기초등의 내용을 준비하고 있습니다. 이번 교류회 역시 플라즈마와 RF 및 공정 관련 기술을 초보자의 레벨에서 이해할 수 있도록 쉽게 준비하였으니, 관련 분야 대학원생 및 산업체 관계자 분들의 많은 참여를 부탁드립니다. 감사합니다. 한국정보디스플레이학회 플라즈마/장비 연구회장 유신재 한국정보디스플레이학회 회장 유재수 [Program] 시간 발표제목 발표자 비고 12:30 ~ 13:40 진공의 기초와 플라즈마 활용 충남대 유신재 교수 70분 13:40 ~ 14:50 플라즈마 소스의 원리와 활용 한양대 정진욱 교수 70분 14:50 ~ 15:10 Coffee Break 10분 15:10 ~ 16:00 플라즈마 식각 기술 성균관대 염근영 교수 50분 16:10 ~ 17:00 Key Challenges of Plasma Etching 삼성전자 이동석 박사 50분 17:00 ~ 17:50 반도체 공정을 위한 플라즈마소스 디자인의 Key Issues 카이스트 장홍영 교수 50분 17:50 ~ 종합토론 [참가신청] 1. 사전등록기한 : 2019년 4월 12일(금)까지 2. 사전등록방법 : http://k-ids.or.kr/ 의 학술행사 > 학회연구회행사 > 제2회 플라즈마 기술 교류회 > 상세내용보기 > 사전등록 및 확인(왼쪽) 에서 신청 후 등록비 납부 3. 결제 방법: 카드 결제 혹은 무통장 입금 (입금계좌: 수협은행, 1010-1188-9947, (사)한국정보디스플레이학회) * 세금계산서 발행을 원할 경우, 사전 등록 후 사업자 등록증을 kids1@k-ids.or.kr 로 송부 [등록비] 1. 사전등록 회원 일반 120,000원 학생 80,000원 비회원 일반 180,000원 학생 110,000원 2. 현장등록: 사전등록가에 2만원 추가 * 현장 접수 시 대기시간이 길어질 수 있어 사전 등록을 권장합니다. * 주차 지원되지 않습니다. 대중교통 이용 바랍니다. * 비회원 등록자는 행사 종료 후 KIDS홈페이지에서 회원가입 시, 입회비와 올해 연회비가 납부처리 됨 [문의처] 1. 등록 및 결제 관련 문의: 학회 이소연 사원 (Tel: 02-563-7922/ email: kids3@k-ids.or.kr) |
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