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산·학·연 협력활동 인사말

제5회 반도체·디스플레이 공정진단 제어기술 교류회에 초대합니다.

  안녕하십니까? 한국반도체디스플레이기술학회 산하 공정진단제어기술연구회 주관의

기술연구회 워크숍을 2022년 10월 6일(목) 서울대학교에서 개최될 예정입니다.

본 워크숍은 지난 10여년간의 반도체/디스플레이 제조 공정의 공정-장비 데이터 생성 기술과 이를 활용한 

장비와 공정제기술을 찾아, 산·학·연과의 기술을 연계시키는 기술교류의 장(場)의 역무를 담당하고 있습니다. 

어언 10여 년 진행해 오면서 석박사급의기술을 선도하는 학생들의 배출을 지원했으며, 새로운 이론들이 수립

되고 기술들은 센서와 장비 기술로 전개하는 데 일조를 하고 있습니다. 나아가 AI 기반의 데이터 관리 기술의 

표준을 정하려는 노력을 통해, 공정 진단 기술에서 장비 능동 제어 기술로서, 지능화 제조 기반 기술로서 발전 

방향을 제시하고 있습니다.

 

  이번 워크숍에서는 ‘반디공진제어’ 기술 발전에서 중심이 되는 국책연구기관들의 활동 성과들이 소개될 예정입니다. 2021년도에 지정이 되었으나 아쉽게도 코로나 팬데믹으로 여러분께 보고 드리지 못했던 ‘플라즈마 공정장비 지능화 융합 연구단’의 활동 현황을 소개드릴 예정입니다. 본 연구단은 공정진단 제어와 관련된 기반 기술을 개발하고 있으며, 지능형 장비 운전 알고리즘을 개발하고 있으며 이를 탑재할 참여 기업과의 협업을 진작해 가고 있습니다. 또한 학계에서 개발된 공정진단 제어기술을 활용해서 생산 수율을 진작시킨 사례와 선진 장비사와 제조사들이 미래 기술로서 요구하는 공정진단 기술들이 소개될 예정입니다. 이를 통해 공정진단 제어기술은 장비 및 공정 엔지니어의 보조 기술로서 발전하고 있으며, 보다 구체적인 공정진단 제어기술의 개념을 만나실 수 있으실 것 같습니다.

공정진단 제어기술은 최신 센서 기술 개발을 견인하고, 장비의 공정 유지 능력을 향상시키고 스스로 문제를 찾는 기능을 가짐으로써, 공정 엔지니어의 리시피 개발의 폭을 넓힐 것 입니다. 특히 초미세 공정개발에 필요한 데이터를 생산하고 통합∙관리하는 능력을 향진 시키는 기술입니다. 이는 softeware와 hardware 기술을 결합시킴으로서 공정 향상 기반의 공장 자동화 기술의 발전 방향을 제시할 수 있을 것입니다. 이를 위해서 다양한 분야와 여러 기술 계층 들 사이의 긴밀한 기술 교류가 필수적입니다. 부디 본 교류회를 통해서 기술들 간에 융합의 아이디어가 얻어질 수 있기를 희망합니다.

 

  코로나 팬데믹으로 많은 고생을 하시는 우리 반도체 및 디스플레이 기술인 여러분, 이번 워크숍에서 자동차의 레벨 2 자율 운전기술이 우리 공정에서도 구현시켜 보려는 상상하면서, 한 박자 쉬어 가는 시간이 되었으면 합니다. 많은 성원과 관심 그리고 논의를 부탁드립니다. 감사합니다.


                                                                                                                                         반도체디스플레이 공정진단제어 기술연구회

                                                                                                                                                                                                     회  장   김   곤  호