한국반도체디스플레이기술학회

산·학·연 협력활동

산·학·연 협력활동

인사말

안녕하십니까? 2024년도 한국반도체디스플레이기술학회(반디학회) 산하

공정진단제어 기술연구회(공진단)에서 주관하는 기술연구회 워크숍을

8월 20일(화), 서울대학교 43-2동 B102호 데이터사이언스강의실에서

개최합니다. 많은 분들의 관심과 참석을 부탁드립니다.

본 연구회는 "반디학회" 산하의 공정진단제어 기술 발굴, 기술 협업, 인력

양성 방안을 찾고 있습니다. 그간 연구회는 인력 양성과 기술 개발을 위한 국책 연구소의

활동을 지원하여 산-학-연의 기술 협력의 체계를 구축하는데 노력하고 있습니다. 올해 2024년

제 7 회 반디 공정진단제어 기술연구회 워크숍 보다 완성된 산-학-연 에서 개발되어 실용화가

가능한 기술들을 소개드리고자 합니다.

반도체디스플레이 공정진단제어 기술은 센서-재료-장비-제조 공정 간의 윤활유 역할을

하는 공정 데이터를 생산하고 관리하는 기술을 아우릅니다. 최근 초미세 제조 공정은 그간

개발된 공정진단 기술들을 융합하고 극한의 제조가 가능한 공정 제어 기술과 생산성을

향상시킬 수 있는 제조 기술의 병합을 요구하고 있습니다. 공정 장비는 진화하고 있으며 공정

단계는 급격히 늘어나면서, 공정 관리에 필요한 공정 제어 데이터는 기하급수적으로 늘어나고

있습니다. 따라서 공정진단제어 기술은 가능한 최소한의 데이터를 기반으로, 초미세 나노

스케일의 공정의 변화를 추적하고, 공정 변동의 원인 정보를 가진 공정 데이터를 만드는 기술,

관리하는 기술, 활용하는 공정 데이터 생산 체계가 필요합니다. 공장 데이터가 적시 생산되면

실시간 공정 관리와 이를 통한 R2R 관리 기술과 TTTM의 새로운 관리 기술들의 개발이

가능할 것입니다.

2024년 연구회 워크숍에서는 산-학-연에서 개발된 10개의 공정진단제어 관련 기술을

소개합니다. 올해에는 기술 논의 시간을 좀 더 가지고자 SNU-PAL 랩 투어 시간도 활용하실

수 있습니다. 공정진단 센서를 개발하시는 분들, 공정 데이터를 효과적으로 알고리즘 개발에

활용하시려는 분들, 공정 장비의 생산 효율을 극대화시키는 공정 레시피 데이터를 찾고

계시는 분들, FDC와 APC 및 Tool Match 신기술을 찾고 계시는 분들께서 아이디어를 얻는

시간이 되기를 희망합니다.

여러분 모두 건강한 모습으로 뵙겠습니다.

감사합니다.

반도체디스플레이 공정진단제어 기술연구회

회 장 김 곤 호