Àλ縻

»ê¡¤ÇС¤¿¬ Çù·ÂȰµ¿ Àλ縻

Á¦6ȸ ¹ÝµµÃ¼¡¤µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤Áø´Ü Á¦¾î±â¼ú ±³·ùȸ¿¡ ÃÊ´ëÇÕ´Ï´Ù.

  ¾È³çÇϽʴϱî? 2023³âµµ Çѱ¹¹ÝµµÃ¼µð½ºÇ÷¹À̱â¼úÇÐȸ(¹ÝµðÇÐȸ»êÇÏ °øÁ¤Áø´ÜÁ¦¾î 

±â¼ú¿¬±¸È¸(°øÁø´Ü)¿¡¼­ ÁÖ°üÇϴ ±â¼ú¿¬±¸È¸ ¿öÅ©¼óÀ» 8¿ù 29ÀÏ(È­¼­¿ï´ëÇб³ ±³Á¤¿¡¼­ 

(28µ¿ 101È£½Ç°³ÃÖÇÕ´Ï´Ù¸¹Àº ºÐµéÀÇ °ü½É°ú Âü¼®À» ºÎʵ右´Ï´Ù.


 º» ¿¬±¸È¸¿¡¼­´Â ¹Ýµð-µ¥ÀÌÅÍÀÇ È帧À» °³¼±Çϱâ À§ÇÑ Ãֽбâ¼úµéÀ» ¼Ò°³ÇØ ¿À°í ÀÖ½À´Ï´Ù

2021³â±îÁö ¿¬±¸È¸¿¡¼­´Â¹Ýµð-µ¥ÀÌÅÍÀÇ »ý¼º ´Ü°è¿¡¼­ ¾çÁúÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ »ý»êÇÏ´Â ±â¼úÀÇ Çʿ伺À»

 °­Á¶ÇÏ¿´½À´Ï´Ù

¾çÁúÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ ¸¸µå´Â ±â¼ú·Î¼­Ãëµæ µ¥ÀÌÅÍÀÇ Á¤¹Ð¼ºÀÇ Á¦°í¿Í ÇÔ²² µ¥ÀÌÅͰ¡ Á¦°øÇÒ Á¤º¸°¡ 

¾çÁúÀ̾î¾ßÇÔÀ» ÀǹÌÇϸçÇö»óÇÐ ±â¹ÝÀ¸·Î ¼¾¼­ µ¥ÀÌÅ͸¦ °¡°øÇÏ¿© °øÁ¤À» ¼³¸íÇÏ´Â Á¤º¸¸¦ Á¦°øÇÏ´Â

´É·ÂÀÌ Àִ µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀǹÌÇÕ´Ï´Ùµû¶ó¼­ ÀÌ µ¥ÀÌÅ͸¦ Ȱ¿ëÇØ¼­ °øÁ¤ ¿¹Ãø ±â¼ú (Virtual Metrology: VM)

±â¼úÀÇ Á¤È®¼ºÀ» ȹ±âÀûÀ¸·Î °³¼±Ç졒ʡøÁ¤ À̰ÝÀÇ ¿øÀÎ ºÐ¼®¿¡ Á¤È®¼ºÀ» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖÀ½ÀÌ º¸°íµÇ¾ú½À´Ï´Ù

ÀÏ·Ê·Î °øÁ¤ ÇöóÁ Àü°ø ºÐ¾ß¿¡¼­ ¸¸µé¾îÁøÇöóÁ Á¤º¸ ÀÎÀÚ (Plasma Information: PI) µ¥ÀÌÅʹ 

OES ½ÅÈ£·ÎºÎÅÍ °øÁ¤ ÇöóÁ Çö»ó ¹°¸®¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© °¡°øµÈ µ¥ÀÌÅÍÀÔ´Ï´ÙÀÌ µ¥ÀÌÅ͸¦ Ȱ¿ëÇÏ¿© 

½ÇÁ¦ »ý»ê °øÁ¤¿¡ Àû¿ëÇØ¼­ °øÁ¤ ¼öÀ² °ü¸®°¡ Å©°Ô °³¼±µÊÀ» ¼Ò°³ÇØ µå·È½À´Ï´Ù

ÀÌ °á°úµéÀº ¸ðµÎ ÇмúÁö¸¦ ÅëÇØ¼­ °ø°³µÇ¾úÀ¸¸ç±³·ùȸ¸¦ ÅëÇØ¼­ ¼Ò°³µÇ¾ú½À´Ï´Ù

À̴ OES ¼¾¼­ °³³ä¿¡¼­ ÁøÀϺ¸ÇÑ PI-OES ¼¾¼­ °³³äÀÌ ¹ßÀüÇØ¼­°í±â´ÉÀÇ OES ¼¾¼­ °³¹ßµµ

°¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ¿´½À´Ï´Ù

¾Æ¿ï·¯ ¿øÀÚ-ºÐÀÚ ¹°¸® ºÐ¾ßÀÇ ±¹Ã¥ ¿¬±¸¼Ò¿¡¼­ °³¹ßµÇ°í ÀÖ´Â °øÁ¤°¡½ºÀÇ ¹ÝÀÀ µ¥ÀÌÅ͵éÀ» º¸´Ù 

È¿°úÀûÀ¸·Î Ȱ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¾ÈÀ¸·Î Ȱ¿ëµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.


  ÀÌÁ¦ºÎÅʹ¿©·¯ºÐ²²¼­ OES¼¾¼­ µ¥ÀÌÅ͸¦ »ç¿ëÇߴ°¡º¸´Ù´Â ÇöóÁ Á¤º¸ µ¥ÀÌÅ͸¦ 

»ç¿ëÇߴ°¡¶ó°í Áú¹®ÇØ ÁֽʽÿÀ.


 À̹ø 2023³â ¿öÅ©¼ó¿¡¼­´Â PI-Sensor ±â¼ú°ú PI-VM µ¥ÀÌÅ͸¦ ¿¬°áÇØ¼­ ½Ç½Ã°£À¸·Î °øÁ¤À» Á¦¾îÇϴ 

APC ±â¼ú °³¹ß ÇöȲÀ» ¼Ò°³ÇÕ´Ï´Ù

ÀÌ´Â ´ÜÀ§ °øÁ¤ (¿þÀÌÆÛ ¹× ÆÇ³Ú Á¦Á¶³»¿¡¼­ °øÁ¤ÀÌ ÁøÇàÇÏ´Â °úÁ¤À» µ¥ÀÌÅÍÈ­ ÇÏ¿© ½Ç½Ã°£ µ¥ÀÌÅ͸¦ 

±¸ÃàÇÏ´Â °úÁ¤ÀÔ´Ï´Ù.  ´ÜÀ§ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤ ½Ã°£¿¡ µû¶ó¼­ °øÁ¤ Àåºñ ¿îÀü µ¥ÀÌÅÍ-°øÁ¤ ÇöóÁ »óÅ µ¥ÀÌÅÍ

-°øÁ¤°á°ú µ¥ÀÌÅ͸¦ ¿¬°èÇØ¼­½Ç½Ã°£ °øÁ¤ »óŸ¦ ÆÄ¾ÇÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ãº¯È­ µ¥ÀÌÅͷμ­ ´ÙÀ̳ª¹Í °øÁø´Ü 

µ¥ÀÌÅ͸¦ »ý¼ºÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ¼Ò°³Çմϴٽǽ𣠰øÁ¤ Á¤º¸¸¦ ǰÀº °íǰÁúÀÇ Big Data ±â¼ú·Î¼­ À̸¦ È°¿ëÇÑ 

¹Ýµð Çâ AI ±â¼ú °³¹ßÀÇ ±â¹ÝÀ» Á¦°øÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÕ´Ï´Ù¶ÇÇÑ À̸¦ Ȱ¿ëÇϸé, W2W, L2L, PM °ü¸®¿Í FDC 

±â¼ú °³¹ß°ú AWC ¹× Ã¹ ÀåÀÇ Ã³¸® ½Ã°£À» ȹ±âÀûÀ¸·Î ´ÜÃàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹é¾÷ °øÁ¤ ±â¼úÀÇ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î 

±â´ëµË´Ï´Ù¶ÇÇÑ Àåºñ °£ÀÇ ½Ç½Ã°£ Åë½ÅÀ» ÅëÇØ¼­ Àåºñ °£ÀÇ °øÁ¤ À̰ÝÀ» ±Ø¼ÒÈ­ ½Ã۴ TTTM ±â¼ú·Î ¹ßÀüµµ 

°¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÀÌ µË´Ï´Ù.


 ¿öÅ©¼ó¿¡¼­´Â ±â¼ú °³¹ß ´ã´çÀÚÀÇ °­¿¬°ú ±â¼ú ¼³¸íÀ¸·Î ÁøÇàµÇ°í°­¿¬°ú °­¿¬ ½Ã°£ »çÀÌ¿¡ ´ë´ãÇÒ ½Ã°£À» 

³Ö¾î °¡´ÉÇÑ ÅäÀÇ ½Ã°£À» ÃæºÐÇÏ°Ô Á¦°øÇϰíÀÚ ÇÕ´Ï´Ù.  ¶ÇÇÑ ´ëÇÐ ½ÇÇè½Ç¿¡¼­ °³¹ßµÇ°í Àִ °øÁ¤Á¦¾î ±â¼úÀÇ 

½Ã¿¬µµ Áغñ°¡ µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù¿öÅ©¼ó¿¡ ¸¹ÀÌ Âü¼®Çϼż­ ±â¼ú Çù·Â ¹× Á¤ºÎ ±â¼ú ÀÚ¹®ÀÇ °æ·Î¸¦ ã¾Æ º¸½Ã±â 

¹Ù¶ø´Ï´Ù.

°¨»çÇÕ´Ï´Ù.


                                                                                                                                         ¹ÝµµÃ¼µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤Áø´ÜÁ¦¾î ±â¼ú¿¬±¸È¸

                                                                                                                                                                                                     È¸  Àå   ±è   °ï  È£