¾È³çÇϽʴϱî? 2023³âµµ Çѱ¹¹ÝµµÃ¼µð½ºÇ÷¹À̱â¼úÇÐȸ(¹ÝµðÇÐȸ) »êÇÏ °øÁ¤Áø´ÜÁ¦¾î
±â¼ú¿¬±¸È¸(°øÁø´Ü)¿¡¼ ÁÖ°üÇÏ´Â ±â¼ú¿¬±¸È¸ ¿öÅ©¼óÀ» 8¿ù 29ÀÏ(È) ¼¿ï´ëÇб³ ±³Á¤¿¡¼
(28µ¿ 101È£½Ç) °³ÃÖÇÕ´Ï´Ù. ¸¹Àº ºÐµéÀÇ °ü½É°ú Âü¼®À» ºÎʵ右´Ï´Ù.
º» ¿¬±¸È¸¿¡¼´Â ¹Ýµð-µ¥ÀÌÅÍÀÇ È帧À» °³¼±Çϱâ À§ÇÑ Ãֽбâ¼úµéÀ» ¼Ò°³ÇØ ¿À°í ÀÖ½À´Ï´Ù.
2021³â±îÁö ¿¬±¸È¸¿¡¼´Â, ¹Ýµð-µ¥ÀÌÅÍÀÇ »ý¼º ´Ü°è¿¡¼ ¾çÁúÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ »ý»êÇÏ´Â ±â¼úÀÇ Çʿ伺À»
°Á¶ÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
¾çÁúÀÇ µ¥ÀÌÅ͸¦ ¸¸µå´Â ±â¼ú·Î¼, Ãëµæ µ¥ÀÌÅÍÀÇ Á¤¹Ð¼ºÀÇ Á¦°í¿Í ÇÔ²² µ¥ÀÌÅͰ¡ Á¦°øÇÒ Á¤º¸°¡
¾çÁúÀ̾î¾ßÇÔÀ» ÀǹÌÇϸç, Çö»óÇÐ ±â¹ÝÀ¸·Î ¼¾¼ µ¥ÀÌÅ͸¦ °¡°øÇÏ¿© °øÁ¤À» ¼³¸íÇÏ´Â Á¤º¸¸¦ Á¦°øÇÏ´Â
´É·ÂÀÌ ÀÖ´Â µ¥ÀÌÅ͸¦ ÀǹÌÇÕ´Ï´Ù. µû¶ó¼ ÀÌ µ¥ÀÌÅ͸¦ Ȱ¿ëÇØ¼ °øÁ¤ ¿¹Ãø ±â¼ú (Virtual Metrology: VM)
±â¼úÀÇ Á¤È®¼ºÀ» ȹ±âÀûÀ¸·Î °³¼±ÇÏ°í °øÁ¤ À̰ÝÀÇ ¿øÀÎ ºÐ¼®¿¡ Á¤È®¼ºÀ» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖÀ½ÀÌ º¸°íµÇ¾ú½À´Ï´Ù.
ÀÏ·Ê·Î °øÁ¤ ÇöóÁ Àü°ø ºÐ¾ß¿¡¼ ¸¸µé¾îÁø, ÇöóÁ Á¤º¸ ÀÎÀÚ (Plasma Information: PI) µ¥ÀÌÅÍ´Â
OES ½ÅÈ£·ÎºÎÅÍ °øÁ¤ ÇöóÁ Çö»ó ¹°¸®¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© °¡°øµÈ µ¥ÀÌÅÍÀÔ´Ï´Ù. ÀÌ µ¥ÀÌÅ͸¦ Ȱ¿ëÇÏ¿©
½ÇÁ¦ »ý»ê °øÁ¤¿¡ Àû¿ëÇØ¼ °øÁ¤ ¼öÀ² °ü¸®°¡ Å©°Ô °³¼±µÊÀ» ¼Ò°³ÇØ µå·È½À´Ï´Ù.
ÀÌ °á°úµéÀº ¸ðµÎ ÇмúÁö¸¦ ÅëÇØ¼ °ø°³µÇ¾úÀ¸¸ç, ±³·ùȸ¸¦ ÅëÇØ¼ ¼Ò°³µÇ¾ú½À´Ï´Ù.
ÀÌ´Â OES ¼¾¼ °³³ä¿¡¼ ÁøÀϺ¸ÇÑ PI-OES ¼¾¼ °³³äÀÌ ¹ßÀüÇØ¼, °í±â´ÉÀÇ OES ¼¾¼ °³¹ßµµ
°¡´ÉÇÏ°Ô ÇÏ¿´½À´Ï´Ù.
¾Æ¿ï·¯ ¿øÀÚ-ºÐÀÚ ¹°¸® ºÐ¾ßÀÇ ±¹Ã¥ ¿¬±¸¼Ò¿¡¼ °³¹ßµÇ°í ÀÖ´Â °øÁ¤°¡½ºÀÇ ¹ÝÀÀ µ¥ÀÌÅ͵éÀ» º¸´Ù
È¿°úÀûÀ¸·Î Ȱ¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹æ¾ÈÀ¸·Î Ȱ¿ëµÉ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
ÀÌÁ¦ºÎÅÍ´Â, ¿©·¯ºÐ²²¼ OES¼¾¼ µ¥ÀÌÅ͸¦ »ç¿ëÇߴ°¡? º¸´Ù´Â ÇöóÁ Á¤º¸ µ¥ÀÌÅ͸¦
»ç¿ëÇߴ°¡? ¶ó°í Áú¹®ÇØ ÁֽʽÿÀ.
À̹ø 2023³â ¿öÅ©¼ó¿¡¼´Â PI-Sensor ±â¼ú°ú PI-VM µ¥ÀÌÅ͸¦ ¿¬°áÇØ¼ ½Ç½Ã°£À¸·Î °øÁ¤À» Á¦¾îÇÏ´Â
APC ±â¼ú °³¹ß ÇöȲÀ» ¼Ò°³ÇÕ´Ï´Ù.
ÀÌ´Â ´ÜÀ§ °øÁ¤ (¿þÀÌÆÛ ¹× ÆÇ³Ú Á¦Á¶) ³»¿¡¼ °øÁ¤ÀÌ ÁøÇàÇÏ´Â °úÁ¤À» µ¥ÀÌÅÍÈ ÇÏ¿© ½Ç½Ã°£ µ¥ÀÌÅ͸¦
±¸ÃàÇÏ´Â °úÁ¤ÀÔ´Ï´Ù. ´ÜÀ§ ¿þÀÌÆÛ °øÁ¤ ½Ã°£¿¡ µû¶ó¼ °øÁ¤ Àåºñ ¿îÀü µ¥ÀÌÅÍ-°øÁ¤ ÇöóÁ »óÅ µ¥ÀÌÅÍ
-°øÁ¤°á°ú µ¥ÀÌÅ͸¦ ¿¬°èÇØ¼, ½Ç½Ã°£ °øÁ¤ »óŸ¦ ÆÄ¾ÇÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ãº¯È µ¥ÀÌÅͷμ ´ÙÀ̳ª¹Í °øÁø´Ü
µ¥ÀÌÅ͸¦ »ý¼ºÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ¼Ò°³ÇÕ´Ï´Ù. ½Ç½Ã°£ °øÁ¤ Á¤º¸¸¦ ǰÀº °íǰÁúÀÇ Big Data ±â¼ú·Î¼ À̸¦ Ȱ¿ëÇÑ
¹Ýµð Çâ AI ±â¼ú °³¹ßÀÇ ±â¹ÝÀ» Á¦°øÇÒ °ÍÀ¸·Î ±â´ëÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ À̸¦ Ȱ¿ëÇϸé, W2W, L2L, PM °ü¸®¿Í FDC
±â¼ú °³¹ß°ú AWC ¹× ù ÀåÀÇ Ã³¸® ½Ã°£À» ȹ±âÀûÀ¸·Î ´ÜÃàÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¹é¾÷ °øÁ¤ ±â¼úÀÇ ¹ßÀü¿¡ ±â¿©ÇÒ °ÍÀ¸·Î
±â´ëµË´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ Àåºñ °£ÀÇ ½Ç½Ã°£ Åë½ÅÀ» ÅëÇØ¼ Àåºñ °£ÀÇ °øÁ¤ À̰ÝÀ» ±Ø¼ÒÈ ½ÃŰ´Â TTTM ±â¼ú·Î ¹ßÀüµµ
°¡´ÉÇÒ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óÀÌ µË´Ï´Ù.
¿öÅ©¼ó¿¡¼´Â ±â¼ú °³¹ß ´ã´çÀÚÀÇ °¿¬°ú ±â¼ú ¼³¸íÀ¸·Î ÁøÇàµÇ°í, °¿¬°ú °¿¬ ½Ã°£ »çÀÌ¿¡ ´ë´ãÇÒ ½Ã°£À»
³Ö¾î °¡´ÉÇÑ ÅäÀÇ ½Ã°£À» ÃæºÐÇÏ°Ô Á¦°øÇϰíÀÚ ÇÕ´Ï´Ù. ¶ÇÇÑ ´ëÇÐ ½ÇÇè½Ç¿¡¼ °³¹ßµÇ°í ÀÖ´Â °øÁ¤Á¦¾î ±â¼úÀÇ
½Ã¿¬µµ Áغñ°¡ µÇ¾î ÀÖ½À´Ï´Ù. ¿öÅ©¼ó¿¡ ¸¹ÀÌ Âü¼®Çϼż ±â¼ú Çù·Â ¹× Á¤ºÎ ±â¼ú ÀÚ¹®ÀÇ °æ·Î¸¦ ã¾Æ º¸½Ã±â
¹Ù¶ø´Ï´Ù.
°¨»çÇÕ´Ï´Ù.
¹ÝµµÃ¼µð½ºÇ÷¹ÀÌ °øÁ¤Áø´ÜÁ¦¾î ±â¼ú¿¬±¸È¸
ȸ Àå ±è °ï È£