프로그램안내

산·학·연 협력활동 프로그램안내

제6회 반도체·디스플레이 공정진단제어 기술연구회 워크숍 프로그램
 
 *일시: 2023년 8월 29일(화)

 *장소: 서울대학교 28동 101호 대형강의실(서울 관악)
 *주최: 한국반도체디스플레이기술학회(반도체디스플레이 공정진단제어 기술연구회) 
시간 주제 연사
08:30~ 등록 -
09:00~09:05 연구회 회장 인사말 김곤호 교수
(연구회 회장)
09:05~09:35

PI-APC 기반 가장자리 식각 균일도 능동제어 기술 

김곤호 교수
(연구회 회장)
09:35~10:05

AI자율운영 기반 공정진단 및 공정제어

한대수 대표
(이디코어)
10:05~10:20 Break -
10:20~10:50

OES Big Data 활용의 현재와 미래

박태균 박사

(삼성전자 반도체연구소 )

10:50~11:20

Knowledge-Based Machine Learning

for Plasma Monitoring

채희엽 교수

(성균관대)

11:20~11:50

Submicron Nanosecond Thermal Imaging using Thermoreflectance: 

Advancements and Applications

Dustin Kendig

(Vice President/Enssel)

11:50~13:00 점 심 락구정 한정식
13:00~13:30

Lab Tour

플라즈마응용연구실-

공정진단기술 소개


13:30~14:10

Make Your Equipment Smart

반디 공정 장비를 스마트 하게- 시즌 1

윤정식 단장

(플라즈마공정 장비지능화융합연구단)

14:10~14:50

Leveraging Actionable Insights

to Accelerate Device Scaling

손승용 박사

(Appiled Materials) 

14:50~15:30

공정 Authentic Profile 기반 Memory Cell

특성 예측의 필요성 및 현황

권형철 팀장

(SK하이닉스)

15:30~15:40

Break 

-


15:40~16:20

PI-VM: What do you want to teach your AI for smart 

plasma processing-fab?

박설혜 박사

(삼성디스플레이)

16:20~17:00

Plasma Enhanced Process Technologies for 

the Semiconductor Devices

오성태 Fellow

(도쿄일렉트론코리아

17:00~17:40

실시간 플라즈마 측정기술 및 반도체 공정 적용 연구

이효창 교수

(한국항공대)


*상기 프로그램은 사정에 따라 다소 변경될 수 있습니다.