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2025년 제5회 플라즈마 RF 기술연구회 워크숍

*일시 : 2025년 5월 8일(목) 13:00 ~ 18:00 (등록: 12:30분~)
*장소 : 과학기술컨벤션센터 대회의실1(B1F)(서울 강남구)
*주최 : 한국반도체디스플레이기술학회(플라즈마 RF 기술연구회)

시 간주 제연 사
12:30~행사 등록-
13:00~13:10연구회 회장 인사말 정진욱 교수
(연구회 회장)
13:10~13:40반도체 공정에서의 장비 기술과 미래

김태환 부사장

(SK하이닉스)



13:40~14:10최신 Plasma etch장비의 양산성을 위한 요건

박종철 마스터

(삼성전자)

14:10~14:50

On the Smart R Wave source for HARC Etching

장홍영 교수

(KAIST)

14:50~15:00Break

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15:00~15:30Advanced packaging을 위한 플라즈마 공정 장비의 응용장주희 매니저(KLA)
15:30~16:00Precision RF Power Control in CVD/Etch Semiconductor Equipment

이기훈 부사장

(AE 코리아)




16:00~16:40To be announced

염근영 교수

(성균관대)

16:40~16:50Break
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16:50~17:20

3D NAND Plug Etch Process 의 현재와 미래

이재원 박사

(SK하이닉스)

17:20~18:00플원자 수준 식각 증착 공정을 위한 플라즈마 소스 기술

정진욱 교수

(한양대)


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